①方法误差.主要指因测量方法不完善而造成的误差，如采点数和位置选择、基准选择和测量、工件安装是否合理等。测量方法的选择应基于对图纸、零件装配、功能等的透彻分析，对不明确之处，由经验丰富的人员加以把握。

 

　　②设备误差。三坐标测量机的日常维护保养和定期的精度补偿非常重要，另外，测量头也是这类误差的重要来源，如测量座不同角度旋转定位引起的误差。误差补偿技术是解决测量设备误差的一种重要手段，研究人员对其进行了深入研究，是今后提高测量精度的主要趋势。

 

　　③人员误差。指测量人员由于自身能力的限制，在测量过程中引入的误差，如手工采点时由于测量速度、方向和力度的不同而引起的误差。测量人员在测量过程中尽量使各种测量影响因素趋于一致、减小，如测量力相同、速度均匀过渡等，尽量采用三坐标测量机的自动测量模式。

 

　　④环境误差.指因环境因素和测量设备所规定标准状态不一致所造成的误差。温度，湿度，气压，振动，灰尘等，温度是影响测量精度的主要因素。三坐标测量机的温度要求为20+/-2℃